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Componentes de implantación de iones de tungsteno

Componentes de implantación de iones de tungsteno

Material: tungsteno, aleación de tungsteno

Características

Material:

Tungsteno, aleación de tungsteno

Pureza:

99%

Forma:

Según los dibujos

Tamaño:

Según los dibujos

Descripción de los componentes de implantación de iones de tungsteno

El tungsteno es un metal duro con una apariencia blanca brillante y plateada. Es resistente a la oxidación y al ataque de ácidos y álcalis. Es un metal voluminoso y tiene el punto de fusión más alto de cualquier metal. El nombre químico del tungsteno es wolframio, representado por W. Su número atómico es 74 y pertenece a la categoría de metales de transición, período 6 de la tabla periódica.

La implantación de iones es un proceso importante que se utiliza ampliamente en la fabricación de dispositivos semiconductores, el acabado de metales y la investigación en ciencia de materiales. Es un proceso de baja temperatura a través del cual los iones de un elemento se aceleran en un objetivo sólido, cambiando así las propiedades físicas, químicas o eléctricas del objetivo.

El implantador de iones es el equipo clave en la fabricación de circuitos integrados. Cuando los haces de iones se disparan sobre la superficie del semiconductor y se depositan, se cambia la concentración del portador y el tipo de conducción. Debido a su excelente modificación de la superficie, la implantación de iones se aplica ampliamente en material semiconductor, metal, cerámica, polímero de alto molecular, etc.

La implantación de iones es esencial en la fabricación de circuitos integrados masivos (CI). Los componentes de la implantación de iones a menudo están hechos de TZM, molibdeno y tungsteno porque estos materiales podrían funcionar bien en entornos hostiles debido a su resistencia a la corrosión, resistencia y alta conductividad térmica. La parte más importante de un sistema implantador es la trayectoria del haz en la que se enganchan los componentes. Aquí, los iones se generan, concentran, aceleran y dirigen hacia la oblea.

Productos para la industria de semiconductores

Cámaras (tungsteno, molibdeno y aleaciones)

Filamentos (aleaciones de tungsteno y tungsteno)

Ranuras de arco (tungsteno, molibdeno y aleaciones)

Soportes (tungsteno, molibdeno y aleaciones)

Cátodos (tungsteno, molibdeno y aleaciones)

Repuestos (tungsteno, molibdeno y aleaciones, cerámica, acero)

Especificación y composición química

Material

Tipo

Composición química (por wt.)

Tungsteno puro

W1

>99,95%min. Mo

Aleación de cobre de tungsteno

WCu

10% ~ 50% Cu / 50% ~ 90% W

Aleación pesada de tungsteno

WNiFe

1,5 % - 10 % Ni, Fe, Mo

Aleación pesada de tungsteno

WNiCu

5 % - 9,8 % Ni, Cu

Tungsteno Rhenium

WRe

5,0 % Re

Moly Tungsteno

MoW50

0,0 % O

Propiedades químicas del tungsteno

Datos químicos


Número CAS

7440-33-7

Sección transversal de neutrones térmicos

19.2 graneros/átomo

Potencial del electrodo

4,5 V

Radio iónico

0,620 Å

Electro negatividad

1.7

Borde de absorción de rayos X

0.17837 Å

Equivalente electroquímico

3,43 g/A/h

Propiedades físicas del tungsteno

Propiedades

Métrico

Imperial

Densidad

19,3 g/cm3

0,697 lb/pulg3

Punto de fusión

3370 °C

6100 °F

Punto de ebullición

5900 °C

10700 °F

Propiedades mecánicas del tungsteno

Propiedades

Métrico

Imperial

Resistencia a la tracción

980 MPa

142000 psi

Módulo de elasticidad

400 GPa

58000 ksi

Módulo de cizallamiento

156 GPa

22600 ksi

Relación de Poissons

0.28

0.28

Dureza, Brinell

294

294

Dureza, Vickers

310

310

Dureza, Knoop

318

318

Dureza, Rockwell A

66

66

Dureza, Rockwell C

31

31

Propiedades térmicas del tungsteno

Propiedades

Métrico

Imperial

Coeficiente de expansión térmica (@20-100°C/68-212°F)

4,40 μm/m°C

2.44 μin/in°F

Conductividad térmica

163,3 W/mK

1133 BTU in/hr.ft².°F

Aplicaciones de componentes de implantación de iones de tungsteno e industrias relacionadas

● Fabricación de semiconductores

● Acabado metálico para el endurecimiento del acero de la herramienta y el acabado de la superficie

● Mezcla de haz de iones para lograr una interfaz graduada y fortalecer la adhesión entre material inmiscible

● Investigación y Laboratorio

● Semiconductor

● Metal


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